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高熱傳導氮化硅基板

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高熱傳導氮化硅基板
高熱傳導氮化硅基板

碳化硅(SiC)材料可承受1400度以上高溫,耐藥性,耐電漿沖擊性能好,耐磨耗,導熱率高,機構致密而且剛度和硬度很高。

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